一种光学薄膜的厚度测量解算方法

本发明涉及材料厚度测量技术领域，公开了一种光学薄膜的厚度测量解算方法。该方法包括：通过干涉光谱法获取光学薄膜的干涉光谱信号；获取光学薄膜的实际反射率；基于光学薄膜的反射率与薄膜厚度之间的关系，采用由模拟退火算法和遗传算法形成的混合优化算法，搜索光学薄膜的薄膜厚度，以使搜索到的薄膜厚度对应的理论反射率与实际反射率之间的偏差程度最小；其中，在采用混合优化算法搜索薄膜厚度时，利用遗传算法进行全局搜索，得到接近全局最优的初始个体，并以初始个体为基础，利用模拟退火算法进行局部搜索，得到更接近全局最优的目标个体，以提高光学薄膜厚度的测量精度。