摘要
本申请公开了一种封装结构的封装方法及封装结构。其中,方法包括:通过提供载板;其中,载板镀有多组导电柱;将转接板放置于导电柱的底部之间,并在转接板上方注塑并蚀刻,形成包含空腔的第一塑封层;将电子贴装器件倒装在空腔内,形成载板上的第一封装结构;将第一封装结构倒装在载板上,以在露出转接板的一面进行布线、芯片放置以及构建第二塑封层,形成载板上的第二封装结构;将第二封装结构从载板上解键合,利用导电柱将第二封装结构与封装基板形成互连,得到目标封装结构。通过在2.3D或2.5D封装结构内引入电子贴装器件,且电子贴装器件及其互连结构嵌入塑封层,可以实现2.3D和2.5D封装技术的热管理效率提升和高效互连。
技术关键词
封装结构
封装方法
布线
转接板
回流焊工艺
导电柱
封装基板
芯片
板桥
载板
空腔
蚀刻
电子
表面贴装技术
倒装技术
倒装工艺
互连结构
电镀工艺
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