一种气体传感器及其制造方法

一种气体传感器及其制造方法，属于传感器技术领域。为解决传统气体传感器体积大、耗能高、灵敏度低、制造工艺复杂等问题，本发明包括将芯片基底基本外形进行电解氧化增材得到初步芯片基底；然后在底部隔热槽、顶部隔热槽对应位置涂抹光刻胶，进行光敏固化；再次进行电解氧化增材，然后去除光刻胶，得到具有底部隔热槽、顶部隔热槽的芯片基底；利用磁控溅射成膜技术，生成由铂膜组成的信号电极、参比电极和电极焊盘；将硝酸铝掺杂贵金属催化剂制成浆料搅拌混合均匀，完全覆盖在信号电极区域和参比电极区域，然后进行烘干高温煅烧，得到初步传感器芯体喷涂去敏剂，然后进行高温煅烧，得到传感器芯体；用封装外壳进行封装，得到气体传感器。