一种基于微环滤波器的波导集成红外光谱芯片及其检测方法

本发明涉及一种基于微环滤波器的波导集成红外光谱芯片，与光波导配合，所述光波导用于输送不同波长的光，包括：多个整列设置的下载波导，每个下载波导与光波导之间均光耦合有一微环滤波器，所述下载波导的输出端均设置有一红外探测器。微环滤波器阵列与红外探测器结合，实现红外光谱的感知，尺寸小，成本低。