一种芯片键合辅助轨迹定位装置

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一种芯片键合辅助轨迹定位装置
申请号:CN202411857787
申请日期:2024-12-17
公开号:CN119673825A
公开日期:2025-03-21
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种芯片键合辅助轨迹定位装置,涉及芯片加工技术领域,包括引导箱体,引导箱体上开设有辅助槽,且辅助槽内部滑动设置有辅助支撑基座,辅助支撑基座的高度可调,且辅助槽设置有两组,相邻辅助支撑基座的运动方向相反。当其中一个辅助支撑基座向下移动进行芯片键合时,另一辅助支撑基座向上移动,直至辅助支撑基座从辅助槽内移出,使得辅助支撑基座上的芯片键合成品能够从辅助槽中移出,便于实现下料的同时,便于将另一组芯片键合半成品放置在辅助支撑基座上,此过程中能够有效的降低芯片键合的空置时间,确保芯片键合过程的效率,保证芯片生产的效率。
技术关键词
支撑基座 芯片 平衡杆 轨迹 距离感应 半成品 箱体 滑杆 距离传感器 基板 支撑杆 滑槽 运动 输出端 电机 弹簧
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