SRAF显影缺陷的检测方法

本发明提供一种SRAF显影缺陷的检测方法。其中，所述SRAF显影缺陷的检测方法是利用关键尺寸量测设备在扫描以及聚焦过程中发射的电子束能够扩大图案化光刻胶中图案沟槽和SRAF引起的显影图案的尺寸的原理，实现对SRAF显影缺陷噪声的有效排除，进而实现对图案化光刻胶层中的缺陷特征的精准抓取和高效检测。