一种匀胶显影清洗一体机

本发明公开了一种匀胶显影清洗一体机，涉及匀胶显影机技术领域，包括主箱体和基板运输机构，主箱体内设置有上料腔体和处理腔体，处理腔体包括依次设置的清洗腔体、匀胶腔体、加热腔体、曝光腔体和显影腔体；上料腔体内设置有上料平台，上料平台上设置有上料机构；清洗腔体内设置有清洗平台，清洗平台上设置有清洗机构；匀胶腔体内设置有匀胶平台，匀胶平台上设置有匀胶机构；加热腔体内设置有加热平台，加热平台上设置有加热机构；曝光腔体内设置有曝光平台，曝光平台上设置有曝光机构；显影腔体上设置有显影平台，显影平台上设置有显影机构；基板运输机构带动基板在各个腔体之间运输。本发明能够减少工作人员带来的污染，提高基板成品质量。