一种具有自适应控制功能的光刻机电机系统

本发明提供一种具有自适应控制功能的光刻机电机系统，控制模块、传感器，其中：所述传感器实时采集电机的运行数据，将采集到的电机运行参数传输给控制模块；所述控制模块接收传感器采集的电机运行参数，并通过自适应控制算法能够根据历史数据和实时反馈，自动优化控制参数。本发明通过自适应控制算法，能够实时调整控制参数，提高光刻机电机的运行精度。