流体切换设备、流体切换方法及设备吹扫方法

本申请公开了一种流体切换设备、流体切换方法及设备吹扫方法，涉及流体输送技术领域。本申请的一种流体切换设备，包括基座、设于基座内的多条流道，每条流道上分别设置有第一阀门，多条流道两两连通且每相连通的两条流道之间分别设置有第二阀门。本申请的流体切换设备，其能够在第一阀门和第二阀门的配合下实现流体在单条流道中的定向传输或多条流道间的流动切换，有效的提高了流体切换的精确性，从而能够防止流体出现逆流的现象，有效避免了由于流体逆流所引起的内部污染，确保生产出的半导体芯片具有高纯度和高性能。