一种气相缓蚀剂筛选方法、终端及可读存储介质

本发明涉及一种气相缓蚀剂筛选方法、终端及可读存储介质，所述方法包括：获取气相缓蚀剂列表，对所述气相缓蚀剂列表中的各个气相缓蚀剂进行初步筛选；对各个所述气相缓蚀剂进行辐照模拟，获取各个所述气相缓蚀剂的各个气相缓蚀剂辐照参数；根据各个所述气相缓蚀剂辐照参数对各个所述气相缓蚀剂进行筛选。本发明通过模拟气相缓蚀剂保护机理以及在辐照条件下的破坏机制，研究气相缓蚀剂用于预测抗辐照性能的关键气相缓蚀剂辐照参数，通过气相缓蚀剂辐照参数实现对气相缓蚀剂进行快速筛选，解决现有技术对气相缓蚀剂筛选依赖人工经验，费时费力的问题。