调谐式光谱检测芯片及其应用

本申请公开了一种调谐式光谱检测芯片及其应用。该芯片包括载体和间隔设置在其表面的多个光谱检测单元；载体可绕旋转轴旋转，以改变入射光的入射角度，入射光的偏振方向垂直于旋转轴；各光谱检测单元包括沿光传输方向依次设置的一维光栅结构和探测器，一维光栅结构所在平面与旋转轴平行，当入射角度在设定范围内时多个光谱检测单元采样的波长范围互不相同。本申请通过在单一芯片上级联多个光谱检测单元，可以在有限调谐效率下实现超大波长范围的集成光谱检测芯片，并且通过将其中的一个光谱检测单元设置为去啋单元，并将其共振波长与其他光谱检测单元的工作波长隔离，可以利用其进行更有效的去噪信号处理，实现高精度抗干扰的光谱检测。