一种大气型半导体探测器及其工艺制作流程

本发明提供一种大气型半导体探测器及其工艺制作流程，涉及半导体探测器领域。本发明第一方面提供一种前端模块的工艺制作流程。本发明第二方面提供一种由本发明第一方面所述的工艺制作流程制备的前端模块。本发明第三方面提供一种大气型半导体探测器，包括如本发明第二方面所述的前端模块。本发明第四方面提供一种如本发明第二方面所述的前端模块用作如本发明第三方面所述的大气型半导体探测器的检测元件的用途。本发明第五方面提供一种本发明第三方面所述的大气型半导体探测器的组装方法。本发明所提供的大气型半导体探测器的帧刷新率≥1kHz，动态范围≥104ph./pixel/pulse@12keV，具备单光子灵敏且S/N≥5@12keV，像素尺寸≤200μm×200μm，像素数目≥65536个，灵敏面积≥2.5cm×10.2cm，量子效率为≥80％@12keV，响应能区为6keV～20keV。