等离子体驱动电路及其驱动方法

本发明揭示了一种等离子体驱动电路及其驱动方法，所述等离子体驱动电路包括双平衡混频器、功率设置电路、误差放大器、压控振荡器、单端转差分电路、驱动电路及变压器电路；所述双平衡混频器分别连接驱动电路及所述变压器电路，误差放大器的输入端分别连接双平衡混频器及功率设置电路，误差放大器的输出端连接压控振荡器的输入端；压控振荡器的输出端连接单端转差分电路的输入端，单端转差分电路的输出端分别连接驱动电路的输入端；驱动电路的输出端分别连接所述变压器电路。本发明提出的等离子体驱动电路及其驱动方法，可利用纯硬件调整频率的方式，简单快速的适应进样溶液突变的情况，并且可以保证功率的稳定性。