摘要
本发明公开了一种高精度压力传感器加工用封装工艺,涉及压力传感器封装技术领域,包括外壳体、输送清洗机构、输送烘干机构和收集装置;本发明整体封装工艺设计全面合理,准备工作周全保障基础;芯片清洗烘干一体设备集成化高,各部件协同确保芯片洁净,为后续封装提供优质芯片,且简化流程、提效降污;芯片贴装与键合精准控制参数,灌封封装措施得当,增强稳定性;固化后处理及老化筛选严格把关,保证传感器性能可靠;收集装置便于芯片管理,提升操作便利性与生产效率,助力自动化规模化生产,整体工艺显著提升传感器封装质量与性能。
技术关键词
高精度压力传感器
清洗烘干一体设备
过滤外壳
烘干机构
超声波发生器
清洗机构
压力传感器封装技术
外壳体
滤芯外壳
冲洗喷头
旋转座
排风机
封装工艺设计
多孔管
冲洗泵
排放孔
多孔隔板
芯片
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