一种反极性LED芯片及其制备方法、照明设备

本发明提供了一种反极性LED芯片及其制备方法、照明设备，涉及LED技术领域。在对P型窗口层进行干法蚀刻之后，继续对蚀刻面进行处理，去除蚀刻面上的悬挂键，降低蚀刻面的粗糙度，使蚀刻面变得更为光滑，形成微反射镜，进而提高反极性LED芯片的外量子效率以及可靠性。