对位精度验证方法、装置、系统及计算机设备

本申请涉及一种对位精度验证方法、装置、系统及计算机设备，装置用于对巨量转移装置进行对位精度验证，包括：标定装置、图像采集装置及分析处理装置，其中标定装置包括分别设有多个焊盘、芯片标识的第一、第二标定板，第一标定板用于放置于巨量转移装置的载台上且其上设有第一对位区，第二标定板用于实现与第一标定板对位且其上设有第二对位区；图像采集装置用于在第一、第二对位区进行对位后，采集对位区域的一一对位的多对焊盘、芯片标识图像的标识对位图像；分析处理装置用于基于获取的标识对位图像，获取对位区域中的焊盘、芯片标识的实际坐标并将其进行比对分析，以进行对位精度验证。采用本装置能够快速验证巨量转移装置对位精度。