一种基于太赫兹的曲面热障涂层无损测厚系统及方法

本发明公开了一种基于太赫兹的曲面热障涂层无损测厚系统及方法，其方法首先使用光学扫描和三目视觉测量系统对样件和机械臂进行坐标标定和逆向重构，建立虚拟空间；然后将虚拟空间与实际空间匹配，提取样件曲面法向量并对机械臂进行路径规划生成控制脚本，并控制双机械臂携带太赫兹测头垂直样件表面对样件扫描获取太赫兹信号；最后构建太赫兹信号的解析模型，通过自适应教与学优化算法优化太赫兹仿真信号参数，拟合检测信号，直到得到最优解即为热障涂层厚度。本发明通过双机械臂协同以及路径规划，适应复杂曲面结构的快速检测；通过建立解析模型并于优化算法结合，提高检测精度，实现了适应复杂曲面结构的高精度无损检测。