一种用于MLED晶圆缺陷检测的成像系统

本发明提供了一种用于MLED晶圆缺陷检测的成像系统，本发明基于AOI缺陷检测模块和中心波长检测模块，不光可以通过AOI缺陷检测模块有效检测外观缺陷，还可以通过中心波长实现单个像素的光谱分析。同时可以定位每一个芯片的光谱。实现高效地检测芯片的亮度、色彩和缺陷，并适应不同类型芯片的检测需求。结合高分辨率传感器和智能自动调节功能，该系统能够实时调整光源和光路条件，从而提升检测效率和准确性。