一种高功率声表面波滤波器及其成型方法

本发明公开了一种高功率声表面波滤波器及其成型方法，该滤波器包括基板和滤波器芯片，滤波器芯片包括压电层和谐振器，压电层的下表面依次设置导热层和导热保护层，压电层和基板之间还设置有导热结构。该成型方法包括以下步骤：S1、提供基板；S2、在压电层的上表面形成谐振器、叉指输入焊盘和叉指输出焊盘；S3、压电层的上表面涂抹导热层；S4、在导热层上表面形成导热保护层；S5、钻孔工艺形成信号工艺孔和散热工艺孔；S6、光刻形成锡球安装孔；S7、谐振器倒置在基板上，金属导热柱插入到散热工艺孔内；S8、加热焊接；S9、包覆环氧膜层。该成型方法成型的滤波器能够在不增加面积的情况下提高散热的效果，进而提高功率容量。