一种自动更换检测光源的晶圆盒缺陷检测装置

本发明公开了一种自动更换检测光源的晶圆盒缺陷检测装置，它包括：支撑底座，多个光源载座，多个所述光源载座安装在所述支撑底座上；光源更换机构，所述光源更换机构包括安装在所述支撑底座上的固定座、安装在所述固定座上的机械臂以及安装在所述机械臂自由端的快换单元；至少一组产品承载组件，所述产品承载组件用于承载产品并带动产品往复移动或/和旋转；所述快换单元包括转接头、安装在所述转接头上的支撑框架、安装在所述支撑框架上的相机、安装在所述支撑框架上的插接母端以及光源模块。能够在更换检测产品(产品颜色不一致)的时候，进行光源的更换，成本低，相比普通人工替换可以减少风险、提高效率。