一种基于电变量的场效应管智能测试方法及系统

本发明公开了一种基于电变量的场效应管智能测试方法及系统，涉及场效应管测试技术领域。一种基于电变量的场效应管智能测试系统，包括有：智能测试模块和测试分析模块。本发明通过待测试晶圆上筛选并对多个场效应管进行动态测量，可以减少每个场效应管的测量次数，节省时间和资源；根据电压电流特性曲线的动态变化自动选择待测场效应管，可以通过优化测量过程，减少不必要的测试和重复测量；使用场效应管特性特征提取模型，强化特征学习的过程去除冗余特征，确保提取到的特征具备强相关性；针对每个待测场效应管独立收集与其相关的强相关特征，能够得到精准的测试结果，有助于做出更加可靠和科学的决策。