一种驱动泵芯片

本发明实施例公开了一种驱动泵芯片。该驱动泵芯片包括：盖板、基板和压电芯片；基板内设置有凹槽；压电芯片嵌入凹槽内；盖板位于压电芯片远离基板的一侧，且覆盖压电芯片；压电芯片包括压电单元和流体流道结构；压电单元位于流体流道结构内；压电芯片用于在连接外部电源后，以压电单元的形变为动力推动流体流道结构内的流体流动。本发明实施例的技术方案，设置压电芯片并对其进行封装，在基板内设置凹槽，将压电芯片嵌入凹槽内，应用盖板覆盖压电芯片，将压电芯片的接线端与外部电源连接，以通电后压电芯片发生压电形变为动力推动流体流动，提高流体种类兼容性，提升集成度。