一种高频工作变形镜的频率响应测试装置及方法

本申请公开了一种高频工作变形镜的频率响应测试装置及方法，涉及自适应光学技术领域，该装置包括：脉冲信号发生器产生第一频率的脉冲信号和第二频率的脉冲信号，第一频率与变形镜的工作频率相等，第二频率与夏克‑哈特曼波前传感器的采样频率相等，激光产生部件将平行光束入射至变形镜，动作驱动器基于第一频率的脉冲信号工作，对变形镜进行驱动，夏克‑哈特曼波前传感器基于第二频率的脉冲信号工作，对变形镜的反射光束进行采集成像，得到光斑阵列图像，处理器对光斑阵列图像进行处理，得到重构波前图像，不断调整变形镜的工作频率，完成变形镜的频率响应测试。本申请可大大减少测试高频工作变形镜频率响应的成本。