一种晶圆中心定位方法及相关装置

本申请公开了一种晶圆中心定位方法及相关装置，涉及芯片制造技术领域，通过将包含晶圆边缘的多幅边缘图像的边缘区域切分成多个子区域，提取子区域的边缘位置来获取边缘区域的边缘位置，使边缘曲线更加贴合真实边缘，提高了边缘计算的可信度和正确性，将预设数量的边缘区域的边缘位置拼接成晶圆边缘曲线，代替边缘图像拼接，进一步降低计算的数据量，同时利用晶圆的边缘曲线呈圆形这一先验知识，对边缘曲线进行圆拟合，保证了晶圆中心位置的准确性和可靠性。