一种光度立体法表面缺陷检测方法、系统及设备

本申请涉及半导体检测技术领域，为一种光度立体法表面缺陷检测方法、系统及设备通过配置对应的分区控制图像采集装置采集关于待检测芯片的多个子图像，并对多个子图像进行立体重构得到关于待检测芯片的2.5D图像，通过具有坐标注意力机制的目标检测模型对2.5D图像进行识别，识别具有深度值的对象。