摘要
本申请公开了一种探针集成器件和探针集成器件的制备方法及控制方法,器件包括探针阵列、硅电极基板、记录芯片裸片与刚性印刷电路基板。制备方法包括:制备探针阵列与硅电极基板;对记录芯片裸片进行植球后与硅电极基板的一端进行对齐处理,倒装在探针阵列与硅电极基板上,得到带有裸片的基板;胶粘至刚性印刷电路基板,并通过金属线连接,得到探针集成器件。控制方法包括:获取大脑神经元信号;对大脑神经元信号进行放大与模数转换处理,得到大脑神经元数字信号。本申请实施例能够促进实现器件的小型化,便于实现高通量信号的采集,且可以对三维空间神经元进行记录。本申请可以广泛应用于探针阵列技术领域。
技术关键词
电极基板
刚性印刷电路
集成器件
探针
阵列
模数转换器
热氧化工艺
光刻版
通孔结构
刻蚀掩膜
金属线
芯片
光刻方法
信号
版图
触点
放大器
排布方式
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减振机构
接触式电磁
减振系统
信号控制单元
减振方法
液相芯片检测方法
位点
捕获探针
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存储器裸片
存储器控制电路
硅晶片
存储器系统
3DNAND存储器
方位估计方法
协方差矩阵加权
阵列
嵌套
MUSIC算法