一种芯片天线单路探针馈电校准系统、方法

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一种芯片天线单路探针馈电校准系统、方法
申请号:CN202411941479
申请日期:2024-12-26
公开号:CN119846322A
公开日期:2025-04-18
类型:发明专利
摘要
本说明书公开了一种芯片天线单路探针馈电校准系统、方法,涉及芯片天线馈电校准技术领域,旨在解决GSG探针馈电时链路无法校准的技术问题。本发明系统包括:气浮隔帧平台、探针台、载物台、两个探针座、显微镜、两个扩频模块;气浮隔帧平台上设置探针台;探针台上设置载物台及两个探针座;载物台上放置直通校准片;探针座上放置探针、扩频模块,扩频模块与探针连接;显微镜设置于直通校准片的上方;探针座根据探针的位置,调节其位置,使探针与直通校准片的GSG馈电端口良好接触,进行馈电;矢量网络分析仪与两个扩频模块连接,用于获取两两探针直通的S21读数,计算各探针的插入损耗。本发明解决了GSG探针馈电时链路无法校准的问题。
技术关键词
芯片天线 矢量网络分析仪 校准系统 扩频模块 探针座 馈电端口 单路 载物台 显微镜 探针台 校准装置 扫描子系统 波导馈电 待测芯片 校准技术 平台 校准方法
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