摘要
本申请公开了一种晶体管及其制备方法,属于半导体技术领域。所述晶体管包括:衬底层,以及依次层叠设置在所述衬底层上的键合层、栅电极层、栅介质层、沟道层,以及源漏电极层;其中,栅介质层的材料包括单晶钽酸锂,且栅介质层的厚度范围为[200nm,600nm]。本申请的技术方案旨在提供一种能实现宽波段响应、多模态感知的晶体管。
技术关键词
晶体管
金属电极
栅介质层
单晶
铟镓锌氧化物
原子层沉积法
二氧化硅薄膜
湿法刻蚀工艺
ITO电极
衬底层
层叠
多模态
电子束
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