摘要
本发明提供一种光电电感融合型编码器,包括编码器芯片和编码器码盘,编码器芯片包括封装外壳、光源和接收晶圆,光源和接收晶圆分别设置于外壳内的两侧;光源和接收晶圆的上方设置有封闭外壳的透光片,透光片的内侧或外侧设置有允许光线透过的透明导电材料形成的电感线圈,电感线圈中至少包含一组激励线圈和一组接收线圈,接收晶圆与电感线圈电性连接采集电感线圈产生的模拟信号;编码器码盘设置有光电编码器的光学码道,同时编码器码盘的正面或反面,设置有透明导电膜,透明导电膜形成等同于电感式编码器中的导电转子。本发明优化结构,实现编码器光电检测和电感检测功能的融合。
技术关键词
编码器码盘
电感线圈
导电转子
编码器芯片
接收线圈
透明导电材料
透明导电膜
晶圆
透光片
光电编码器
封装外壳
光源
电信号
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