摘要
本发明公开了一种高稳定功率半导体芯片的模块测试系统,涉及芯片测试技术领域,包括封装检测端、模块测试端和失效判断端,封装检测端用于通过对封装后的半导体芯片表面进行区域划分,并实时监控划分的对应区域,实现多个区域的协同监控效果,模块测试端用于将测试机产生的信号参数施加反馈后,将测试向量实时组成的测量值与编程值进行实时比对,失效判断端用于通过实时检测测量值,判断半导体芯片是否失效,保证半导体芯片失效调整的精确度。该高稳定功率半导体芯片的模块测试系统,能够实时监测半导体芯片封装状态,提高半导体芯片封装可靠性,及时找出失效的原因并进行相应的调整,提高半导体芯片的模块测试效果。
技术关键词
半导体芯片封装
模块测试系统
功率半导体芯片
键合线
编程
半导体芯片表面
失效故障
检测端
高稳定
参数
监控设备
测试机
数据处理器
追踪仪
静电放电保护
透射电子显微镜
气密性检测仪
监控单元
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