一种光纤陀螺用薄膜铌酸锂异质集成芯片构型

本发明属于集成光学、惯性传感技术领域，具体涉及一种光纤陀螺用薄膜铌酸锂异质集成芯片构型。利用薄膜铌酸锂混合光子集成芯片实现了光纤陀螺功能器件的全片上异质集成。陀螺分立光路器件单片集成、整体封装，光路尺寸及成本大幅降低，减少了光纤互连，装配工艺复杂度明显减小，有效提升陀螺性能的长期可靠性。借助硅光子成熟的CMOS工艺，可实现微型光纤陀螺的低成本、大规模批量生产，满足未来武器系统的小型化、轻量化需求。