一种半球谐振子高精度等质量密度修形方法

本发明公开了一种半球谐振子高精度等质量密度修形方法，包括如下步骤：通过多位置检测分析确定半球谐振子中心锚柱的轴线方位，作为测量基准；测量外球面、内球面的三维轮廓点云坐标和相对轴线基准的偏心坐标，建立外球面、内球面实际轮廓模型；确定修形区域和对应去除厚度，建立三维修形去除模型；对外球面、内球面的待修形区域采用刻蚀方法进行三维连续修形去除加工；根据外球面和内球面截面圆的中面直径和厚度分布评价修形结果。本发明可以实现半球谐振子三维球壳的质量修调，通过对外球面和内球面的联合质量修形，能够得到质量密度分布的相较对称的半球谐振子，有利于提高半球谐振陀螺的精度。