经由基于模拟和地面真值测量的X射线建模对样本的结构性质进行非破坏性估计
申请号：CN202411950950
申请日期：2024-12-27
公开号：CN120253927A
公开日期：2025-07-04
类型：发明专利
摘要
公开了一种用于样本的非破坏性表征的系统，所述系统包括：电子束(e束)源，所述e束源用于将e束以一个或多个e束着陆能量投射在样本上；X射线检测器，所述X射线检测器用于感测从样本发射的X射线，从而获得测量数据；以及处理电路系统，所述处理电路系统被配置为：(i)从测量数据中提取由向量指定的关键特征；以及(ii)基于以及地面真值(GT)和模拟关键特征的向量集来估计表征样本的一个或多个结构参数的值中的每一者是GT测量的或计算机模拟的由于用e束以一个或多个着陆能量中的每一者撞击相应GT或模拟样本而从所述相应GT或模拟样本发射X射线来产生的结果。
技术关键词
样本
X射线检测器
电路系统
图案化晶片
参数
数据
强度
矩阵
电子束
计算机
回归算法
地面
意图
曲线
多项式
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偏差
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