一种点阵式生物芯片的制备方法

本发明提供了一种点阵式生物芯片的制备方法。本发明提出通过纳米压印在芯片衬底上形成纳米孔点阵，通过水凝胶在点阵表面均匀形成功能化修饰层，再利用偏转的离子束对衬底进行刻蚀处理；刻蚀时离子束入射方向与载片台表面之间的夹角为θ，以对功能化修饰层进行选择性刻蚀；通过有夹角的刻蚀可保留纳米孔的底部和部分侧壁的功能化修饰层，而其它部分的功能化修饰层则被离子束刻蚀干净；IBE的离子源为氩气，化学性质稳定，对材料的化学成分无明显影响，避免了化学残留对功能化材料性能的损害；IBE不产生化学反应副产物，降低了表面残留颗粒和污染风险；IBE离子束能量可调，相对温和的刻蚀避免基底损伤，对表层材料的晶格、表面状态影响小。