摘要
本申请提供一种存储单元、集成电路、存储器、逻辑芯片和电子设备,存储单元包括:衬底;第一栅氧化层和控制栅极,沿衬底的厚度方向,第一栅氧化层设于衬底的一侧,控制栅极设于第一栅氧化层背离衬底的一侧;第二栅氧化层和浮动栅极;第二栅氧化层设于衬底,且和第一栅氧化层位于衬底沿厚度方向的同一侧,第二栅氧化层与第一栅氧化层沿衬底的长度方向间隔设置,浮动栅极设于第二栅氧化层背离衬底的一侧;其中,第一栅氧化层包括第一介质层,第一介质层的介电常数大于16。使用该存储单元能够解决现有的Flash存储器中因存储单元为多层垂直结构而需要使用多层MASK的问题,利于降低存储器的成本。
技术关键词
栅氧化层
存储单元
控制栅极
衬底
介质
浮动栅极
存储器
多层垂直结构
集成电路
电子设备
逻辑
芯片
层叠
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