摘要
本发明涉及半导体器件封装技术领域,具体涉及一种大规模光子芯片的封装结构、封装测试方法及系统,包括:基板;基板的上表面通过第一键合结构连接有芯片层,其包括:多个光芯片,且光芯片相邻的第一、第二侧边与另外两个相邻光芯片所对应的侧边相对平行,且相对设置的两个侧边之间通过填充胶合材料以形成第一胶合区;光子芯片朝外设置的侧边粘结有胶合材料延伸形成有第二胶合区,硅转接板,硅转接板对应于光芯片的第一连接区设置;在硅转接板的下表面与胶合层之间设置有第一布线层。本发明所提出的拼接结构能够减小大规模光芯片的制备难度。
技术关键词
光子芯片
封装测试方法
硅转接板
封装测试系统
曲线
电子芯片
封装结构
光纤阵列
键合结构
布线通道
弯曲
半导体器件封装技术
光芯片
拼接结构
基板
凸点
导电
包裹
系统为您推荐了相关专利信息
卸载策略
缓存策略
服务器
移动边缘计算技术
定价策略
光学检测方法
数据
门控循环单元网络
曲线
Pearson相关系数
智能推荐系统
融合大数据
数据分析模块
数据获取模块
分析单元
boost变换器
MPPT控制方法
光伏逆变器
随机森林模型
光伏电池板