一种大规模光子芯片的封装结构、封装测试方法及系统

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一种大规模光子芯片的封装结构、封装测试方法及系统
申请号:CN202411962101
申请日期:2024-12-27
公开号:CN119667858A
公开日期:2025-03-21
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体器件封装技术领域,具体涉及一种大规模光子芯片的封装结构、封装测试方法及系统,包括:基板;基板的上表面通过第一键合结构连接有芯片层,其包括:多个光芯片,且光芯片相邻的第一、第二侧边与另外两个相邻光芯片所对应的侧边相对平行,且相对设置的两个侧边之间通过填充胶合材料以形成第一胶合区;光子芯片朝外设置的侧边粘结有胶合材料延伸形成有第二胶合区,硅转接板,硅转接板对应于光芯片的第一连接区设置;在硅转接板的下表面与胶合层之间设置有第一布线层。本发明所提出的拼接结构能够减小大规模光芯片的制备难度。
技术关键词
光子芯片 封装测试方法 硅转接板 封装测试系统 曲线 电子芯片 封装结构 光纤阵列 键合结构 布线通道 弯曲 半导体器件封装技术 光芯片 拼接结构 基板 凸点 导电 包裹
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