摘要
本发明公开了一种基于3D映射的LIBS异质样品检测分析系统及方法,所述系统包括用于提供LIBS所需载波的激光光谱发射装置,用于异质样品检测位置进行调整、对激光烧蚀位置进行准确定位的样品定位和烧蚀点控制调整装置;所述样品定位和烧蚀点控制调整装置包括用于对异质样品的表面进行扫描获取样品三维模型的3D扫描机构、用于接收激光光谱模块发射的激光并进行聚焦位置调整的电子可调透镜、用于配合电子可调透镜对样品表面烧蚀点进行调整的电子可调平台,将LIBS和空间映射相结合,利用电子可调平台和电子可调透镜实现不规则异质样品表面各个位置区域的准确检测分析,可以保证各位置激光聚焦的一致性,保证检测分析数据的准确性。
技术关键词
电子可调
检测分析系统
异质
光谱发射装置
扫描机构
检测分析方法
三维模型
延迟发生器
透镜
激光烧蚀
YAG激光器
光谱仪
平台
反射器
深度学习模型
集光
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