DTCO流程中基于ResNN对PEX中的参数RC提取方法、装置及设备

本申请公开了一种DTCO流程中基于ResNN对PEX中的参数RC提取方法、装置及设备，旨在解决PDK开发中寄生参数提取的准确性和效率问题，方法包括：基于器件剖面信息，对结构信息进行PCA分析以降低数据维度，并突出关键特征；基于经验及物理特性，对参数数据集进行增强，以增加模型训练数据的多样性和鲁棒性；建立ResNN深度神经网络模型，对基于器件信息的寄生参数数据集进行训练，训练好的ResNN提参模型可以实现多目标、高精度的RC预测，可以显著提高PEX流程的效率，为半导体设计和制造提供了一种高效的参数化RC提取技术方案。