一种半导体器件的实时控制方法

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一种半导体器件的实时控制方法
申请号:CN202411964048
申请日期:2024-12-30
公开号:CN119658184A
公开日期:2025-03-21
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体器件控制技术领域,具体公开一种半导体器件的实时控制方法,该方法包括:划片加工性能指数评估、划片质量符合程度值判定、半导体器件质量控制,通过评估半导体芯片的划片加工性能指数,以此匹配得到半导体芯片的划片质量参数预设集,为划片加工操作提供了标准化的参数设置,并对各半导体子芯片进行质量监控,判定各半导体子芯片的划片质量符合程度值,对各质量不合格半导体子芯片进行质量预警提示,通过预警提示,可以尽早对不合格的子芯片进行质量处理,减少不合格半导体芯片的数量,最终实现半导体器件的质量有效控制。
技术关键词
半导体芯片 半导体器件 预警机制 倒装芯片键合技术 指数 划片设备 无线通信技术 刀片 指标 参数 周期 因子 处理器 速度 数值 表达式 数据 晶圆
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