抛光液监测方法和监测系统

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抛光液监测方法和监测系统
申请号:CN202411964825
申请日期:2024-12-30
公开号:CN119694430B
公开日期:2025-10-17
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种抛光液监测方法和监测系统,属于抛光液技术领域。其中,抛光液监测方法包括如下步骤:步骤1:获取抛光液随使用进程的成分数据以及与成分数据对应的标记数据,所述成分数据包括各组分的浓度,标记数据包括PH值、光谱信息以及温度数据;步骤2:获取待测抛光液的时间温度数据、时间PH数据以及时间光谱信息,作为预测信息;本申请所提供的技术方案中,在监测抛光液内部有效成分时,并不是对抛光液进行取样,而是收集抛光液在使用过程中预测信息,然后用预测模型来预测成分数据,所以监测过程中,效率更高,能够更加迅速的监测抛光液内部的成分变化。
技术关键词
监测方法 感兴趣 光斑 数据 滤波 监测系统 LSTM神经网络 抛光液技术 卷积网络模型 融合特征 PH值 标记 掩膜 圆心 成分含量 输出特征 监测模块 样本 强度
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