一种光流控芯片结构的制作方法

本发明涉及微流控芯片和光电镊技术技术领域，具体涉及一种光流控芯片结构的制作方法，所述上级板和下极板贴合配合形成光电镊功能区和数字微流控功能区，所述光电镊功能区和数字微流控功能区完成平面处理；所述上级板包括玻璃层、导电层以及疏水层。本发明通过精心设计的光电镊功能区与数字微流控区域的结合，本方法实现了高效的微液滴操控、精确的微粒分选与富集，同时提供了极高的灵活性和可调节性，能够满足多种复杂生化操作需求，通过光电镊区域的光电效应实现微粒的精准控制，并通过数字微流控区域的电场调控实现液滴中微粒或细胞与液滴精准的分离，最终提供了一个高效、可扩展且高通量的微流控平台。