一种SMU以及SMU的自校准方法

本申请提供了一种SMU以及SMU的自校准方法，涉及SMU技术领域。该SMU包括校准模块用于在校准时向测量模块输出基准信号；测量模块用于接收基准信号和将基准信号传输给ADC模块；ADC模块用于根据基准信号生成第一测量结果以对SMU的测量功能进行校准，测量功能校准是基于第一测量结果和基准信号实现的；DAC模块用于在测量功能校准完成后，向测量模块发出测试信号以对SMU的输出功能进行校准，输出功能的校准是通过测试信号对应的第二测量结果和测试信号实现的。本申请实施例能够提升电压测量、电流测量以及输出信号的精准度，从而可以使SMU可以在各种环境中实现长时间的精准测量和精准信号输出，提高SMU的可靠性。