射频电源大功率脉冲输出的高精度功率控制方法及系统

本发明公开了一种射频电源大功率脉冲输出的高精度功率控制方法，包括以下步骤：采集大功率射频电源中射频发射电路功放前的射频发射信号，得到发射反馈信号TXFB，并采集检波电路的耦合信号，得到射频发射信号的前向功率反馈信号FWD和反射功率反馈信号RFL；对采集的TXFB、FWD和RFL进行处理，并计算各个信号功率值；根据脉冲信号边沿同步选取有效的TXFB、FWD和RFL的信号功率值；根据TXFB校正FWD的信号功率值；分析TXFB和校正后FWD的信号功率值变化趋势，估算TXFB经过功率放大电路的响应延时；计算响应延时后射频电源输出的前向功率，并判断是否在允许的范围内，若是则输出功率满足要求，否则继续进行闭环功率调整。本发明可以提高脉冲输出功率的控制精度和响应时间。