蓝宝石衬底通孔、超导量子芯片制造方法及超导量子芯片

本发明公开了一种蓝宝石衬底通孔、超导量子芯片制造方法及超导量子芯片。所述蓝宝石衬底通孔制造方法包括：清洗并干燥蓝宝石衬底；将清洗并干燥后的蓝宝石衬底固定于三维定位平台上，该三维定位平台用于根据预定的加工位置移动所述蓝宝石衬底，以实现相对加工的贝塞尔光束纳米级的位移；通过飞秒激光光源系统，按照预设的激光工艺参数，发射贝塞尔光束，并按照预设的激光扫描路径，使贝塞尔光束聚焦至蓝宝石衬底待加工通孔的至少一个位置，对所述至少一个位置进行通孔加工。本发明解决了蓝宝石衬底上难开通孔的问题，满足了超导量子芯片中蓝宝石衬底上通孔高质量要求，为未来超导量子比特大规模扩展的实现提供了解决方案。