一种芯片生产用晶圆限位装置

本实用新型涉及芯片技术领域，且公开了一种芯片生产用晶圆限位装置；包括连接壳，还包括：设置于连接壳底部四角的支撑腿，所述连接壳的顶部固定连接有四个延伸壳，所述延伸壳底部的一侧固定连接有固定板；固定于连接壳底部用于限位晶圆使用的驱动组件，所述驱动组件包括直流电机和推杆，所述连接壳的顶部设置有四个卡环。打开直流电机使第一锥齿轮啮合第二锥齿轮转动，此时螺纹杆会在固定板一侧转动，在螺纹杆转动时螺纹套则会带动延伸板使推杆带动卡环移动，然后卡环移动时会使第一弹簧带动弧形板对晶圆夹持限位，通过弧形板以及卡环均为四个且对称设置，因此可以提供四向夹持力，同时也方便对不同大小的晶圆限位。