摘要
本实用新型属于芯片加工技术领域,具体为一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构,包括升降台,升降台的底部固定连接有升降气缸,升降台为空心结构,升降台的顶部开设有多个均布的出风孔,升降台的底部两侧均固定连通有离子风管,离子风管和升降台的内腔连通,升降台的内腔和出风孔连通,离子风管的外端和离子风机连通,升降台的顶部两侧均固定有挡板。本实用新型的离子风与气缸振动的双重作用,可以防止芯片因为静电吸附作用而吸附在Tray盘上,避免后续Tray盘翻转过程中芯片因为静电吸附而掉落损坏的异常发生。
技术关键词
升降台结构
升降气缸
离子风机
静电
芯片
距离传感器
风管
Tray盘
控制器
内腔
信号
输入端
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