一种芯片制造用可防静电的离子风机

本实用新型涉及芯片制造技术领域，公开了一种芯片制造用可防静电的离子风机，包括风机本体，风机本体的一侧可拆卸安装有过滤框，风机本体的另一侧设置有离子圈，离子圈的内侧环形设置有多个离子针。本实用新型技术方案既可以使直杆沿着滑槽向右移动，同时压缩弹簧，直杆带动滑块跟随移动，滑块带动保护框向右移动，使保护框与离子圈分离，从而方便工作人员对离子圈上的离子针进行维护，又可以在直杆向右移动过程中，使球形杆移动到楔形块的右侧斜面，从而使楔形块失去支撑力，楔形块向下移动，进一步方便对第一过滤板和第二过滤板进行拆卸清理，从而联动的完成对第一过滤板、第二过滤板和保护框的拆卸，提高拆卸维护效率。