一种定位装置

本实用新型公开了一种定位装置，包括机械臂、卡盒以及校正组件，所述卡盒具有多个卡槽、进料口以及出料口，所述校正组件设置于所述卡盒与所述机械臂之间；所述校正组件包括第一驱动件以及两个校正结构，两个所述校正结构相对设置，且与所述第一驱动件连接，以通过所述第一驱动件驱动两个所述校正结构相对或相向运动，所述校正结构具有多个卡位，两个所述校正结构的所述卡位对应设置。本实用新型每一次晶圆的取出都能进行定位校正，减少了因移动距离远而可能产生的累积误差，缩短了机械臂为了校正而需要移动的距离，提升了晶圆取放的精准度。