摘要
本实用新型涉及芯片制造技术设备领域,公开一种用于半导体芯片运输装置的限位结构,包括位于分料盘一侧的固定块、连接板、弹力板、L型板和限位块,固定块位于分料盘芯片进料口处的一侧,固定块上连接有连接板,连接板下部设有缺口,连接板上部设有L型板,L型板和固定块之间连接弹力板,L型板上设有限位块,限位块底部设有槽体,能够防止芯片被顶起到分料盘的外部,无法被分料盘运输,并且可以方便对芯片进行观测,当芯片被卡住的时候,方便进行剔除。
技术关键词
限位结构
分料盘
限位块
芯片
槽体
技术设备
进料口
螺栓
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