一种充氮测试装置

本实用新型属于芯片生产测试技术领域，具体涉及一种充氮测试装置。其包括：框架、下盖、上盖、测试探针及测试台。下盖安装于框架中，下盖包括外壳、嵌套于外壳中的内壳，及填充于外壳与内壳之间的绝缘层；上盖匹配盖合于下盖上，以在上盖与下盖之间形成密封腔体，上盖顶部通过驱动装置吊装于框架顶部，上盖上开设有进气口和出气口，用于进出保护气体；测试探针安装于上盖上；测试台安装于内壳中，与测试探针相对设置。本实用新型用于解决芯片测试容易打火损坏的问题。